射铸法(Injection Coining) 所谓射铸法是在射料之后，先维持一段较低的锁模力，然后再加大所模力。如表中所示，有三种注射法的比较。 7．成形(Molding) 注塑件模具温度必须与料温、射速与射压一起考虑，而冷却时间会影响到盘基品的厚度，进而影响“循环时间”(Cycle Time)。 8．穿孔(Punching) 一般欧洲注塑件机在炮筒顶端有设计“针阀喷嘴”，当注射、保压结束之后，在冷却期的初期，针阀将会关闭而喷嘴会后退，此时在冷却期末段才施行冲头穿孔作业，我们称此方法为“硬切割”(Hard Cut)。 日本式注塑件机则不用此计阀喷嘴的设计而炮筒也不需要后退，因为在冷却期前段冲头就已施行穿孔，因此塑料还尚未完全冷却时，穿孔作业已完成，我们称此方法为“软切割”(Soft Cut)。软切割的好处是： (1) 塑料可以稳定的流动，温度稳定性提高； (2) 在塑料仍很软时穿孔，可避免硬切割在内孔边缘产生应力(Stress)； (3) 此种方式在穿孔时不需要炮筒后退，因此减少机械的损耗。 一般压模的标准内孔直径为34mm而在DVD生产的部份也有使用直径22mm的压模内孔。 9．取出(Take-out) 以机械手臂(Robot Arm)将水日弹掉或夹出来再抛弃的两种方式。 10．冷却定形(Conditioning) 当盘基自注塑件模具中取出后，温度仍很高，这时若置放在不平衡的冷却装置上，冷却不均匀将会导至翘曲的产生，不光是冷却要有足够的时间，在冷却区域的落尘量也要考虑，因为既使是1，000级的净化区域，当盘基在其中停留几十分钟仍有被污染的机会，尤其是水平置放的冷却方式，因此多半在高效率过滤网(HEPA)的沉流罩下仍要有“高压静电吹风器”(De-ionized Blower)，其针尖处将流过的空气带电，以使空气中的灰尘因带电而附着在墙上而不会乱飞，而机器本身的接地工作也要落实，以免累积过量的电荷而产生放电火花。因此，最佳的冷却装置是将盘基直立的边旋边前进的直条形冷却机构(Rotation Vertical Cooling Buffer) 四、操作与问题分析 实际操作上我们都希望能有较快的产速，亦即短“生产周期”(Cycle Time)，而降低生产周期的因素有：(a)双折射；(b)翘曲；(c)沟槽的几何形化 1．线内光学测试机(In-Line Optical Scanner) (1)测试光源(Light Source) 线内100％检测机是由灯泡(Lamp)、固态激光(Laser Diode)或发光二极管(LED)等光源加上一些光学滤波片(Optical Filter)与光侦测数组(Photo Array)来做穿透与反射的光强度(Light Intensity)测量，我们可以得到盘基上如穿透率、反射率、翘曲与缺陷等的状况。 (2)盘片着陆后的稳定性(Vibration Stability) 一般线内光学测试机需要在1～2秒内将一片盘机做完检测，故盘基落在检测机的“承轴”(Chuck)上要能稳定后再开始测量，这就是延迟时间的功用。 以往于1998年CD-R刚开始大量生产时候，可录式光盘复制线上会配置有三台线内光学检测机，分别对盘基、染料片(Dye Disc)与成品(Finish Disc)做质检，但现在的复制线多半已取消第一台的配置，即不线上内测盘基，而盘基的测试多半由线外光学检测机来担任。 2．线外光学测试机(off-Line optical Tester) 现外光学检测机与线内的相似，差别在于可以做更复杂的光学计测，加上一些空间的计量设置与偏光片(Polarizer)的组合，我们可以经由计量不同角度上散射光的强度来估算沟槽的宽度与深度，但这估计值(相对值)需要与原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)所测出的绝对值做比对才能确认其是否达到相当的精度。 (1)光学读取头 值得一提的是一般市售光刻的“光学读取头”(Pick-Up Head, PUH)与光学测试机的光源照射方式是不一样的，线内线外的光学测试机是采用一毫米直径平行光束与PUH中要聚焦(NA)是不同的。 (2)透明度(穿透率/反射率) 加温过高会将塑料烧焦而产生黄化的问题，塑料干燥不全盘基也会有白斑的产生，一般正常操作下，保持适当的“螺杆旋进速度”(Screw Circumferential Velocity)与“射速”(Injection Velocity)，塑料会保持良好的透明度。 (3)翘曲度(Tilt/Dishing) 翘曲的成因主要是两半注塑件模具的温度差异，其次是盘基在注塑件模具中的冷却速率，以及冷却时的模穴压力与开模前的吹风(Air Blow)，当然在开模之后所取出的盘基仍然很热，没有适当的冷却也会产生翘曲，而后续的染料盘基烘干、溅射、粘合、紫外光硬化保护胶层(UV Curing)与印刷等也会影响到翘曲的大小。一般所称翘曲多半是是指轴向“翘曲”(Radial Tilt)，而也有“切线翘曲”(Tangential Tilt)。 (4)双折射 光学上的“双折射”(Birefringence)又称“后推量”(Retardation)，这是指在材料本身结构中各方向的折射率有所不同，造成不同方向上的“偏光分量”(Polarization Component)虽然穿过相同的塑料厚度仅会有相位(Phase)上的差异。当盘基中有双折射的变异时，光学头读取信号的激光经过光盘反射后会在各偏光分量上的相位有所不同，此干涉干扰的强弱作用会进而影响到信号强度的读取，因此，我们要降低双折射量，并维持内外径上的双折射的一致性。 双折射的成因有：(a)塑料分子在成形时的冷却快慢，是否有应力残留；(b)冲头切口的时间点是否会造成内圈材料上的应力；(c)注塑件方法的选择是否会使溶化的塑料在注塑件模具中的流动与收缩发生问题；(d)塑料的密度变异。 双折射的影响为：(a)改变激光的极化偏振相位，使反回光学读取头的信号变异：(b)PUH循轨力量减弱；(c)容易产生散射(scattering)；(d)可录式光盘成品的刻录效果不佳，烧孔成形变异，自然对碟机的兼容性减弱。 双折射的调整如图所示，增加料温或加大锁模力会使内外径的双折射一同降低，而其它参数(降低射速、降低模温、延长冷却时间、延后冲头切口时间等)的调整可以促使内外径上的双折射量达到一致。 (5)复制率 将模温、炮筒温度、注射速度或锁模力提高皆会增加盘基沟槽的复制率，但锁模力要达到某个值以上且维持时间足够才能有较佳的复制率，但高锁模力的维持时间又不可以过久，以避免因为“塑料盘基”(PC substrate)与“镍质压模”(Nickel Stamper)的收缩率不同，造成外圈收缩率差异过高而成型不佳。 (6)对沟槽几何形状的要求 针对可录式光盘的刻录与注塑件条件比较，刻录方面希望要有清楚的沟槽轮廓，但实际注塑件却无法达到此理想值，为了解决水纹等问题，沟槽几何误差的容许率必须适度的放宽。 (7)穿透率 盘基的穿透率可直接线上外检测机上测出，而有关盘基的缺陷也可以经由直接溅射金属层来观察，要注意的是各种染料工艺所需的沟槽宽深会不同，因在一厘米直径的平行光束照射之下会有不同的散射量，因此所测得的穿透率会不一样，故以线外信号测试机(如CATS Pulstec等)来测真正有考虑到“数值孔径”(NA)的反射率才正确。 (8)收缩率 对于收缩率的计算，我们必须借助如原子力显微镜的观察，来计算内外径沟槽的几何尺寸变化，基本上以垂直距离比来表示，但也有人加上水平上的资料，甚至以沟槽而积来计算。 一般塑料的收缩率约在95％到98％之间，不同的参数大小对收缩率的影响不同，请参考图说。 3．问题分析 (1)机械特性(Mechanical Properties) A．水纹多云雾(Cloud /Release Mark) 水纹的产生多半发生在开模(Mold Opening)的瞬间，基本上是因为“水平的收缩差异”与“翘曲”的加成因素所造成的，在盘基的内外径上各处皆有发生的可能性，但出现在内圈的机率偏高。 如同开新车一样要照顾引擎的初期磨损状况，建议每张压模使用之初100～200片注塑件，应先用较小的锁模力与较长的注塑件周期，待生产平顺后再开始加高锁模力与加快产速做量产的工作。 B．重量与厚度(weight/Thickness) 保压压力愈大则盘基厚度愈厚，其它影响盘基厚度的因素有锁模力、模温与料温。基本概念是当开机温机之后开始注塑件约60片盘基后的才会趋于稳定，而既使在量产中有任何的短暂停机，也会在覆机时约会有先期的5～20片盘基的厚度与尺寸不稳定。 评鉴注塑件机的好坏与是否达到注塑件控制调整的最优化，可由在量产时盘基重量变异最大值6δ)的大小来决定。 C．内孔大小、偏心与平衡 压模冲孔偏差与盘基冲孔偏差等会造成轨道读取时的摇晃，尤其光盘在做52X高速旋转时，使得循轨(Tracking)不易。另外在注塑件盘基所造成密度的变异与各方向上不同厚度等问题，会使盘基的质量中心偏移物理的尺寸中心，造成在旋转时的“不平衡”(Unbalance)与“聚焦”(Focus)的问题，这常见于高速旋转下光盘所产生的噪音。 (2)外观缺陷(Cosmetic Defects) 在外观的缺陷方面有包含拉丝(Threads)、盘基塑料内的污染(潮湿、杂质…)、刮伤(Scratches)、表面污染、成形不全、过度饱和与流痕等等。基本上我们要注意压模的内环码位置，用来鉴定缺陷的发生方位与内径距，若是发生在相同位置，则多半是注塑件模具的问题，若发生位置不在同一方位，则有可能是材料、污染与周边供应的不稳定所造成，依序做推理的作业直到找出原因，而一般塑料供货商有提供一个问题解决的手册做参考。 4．原子力显微镜与高线光学测试机的比对 原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)的工作原理是以一个极细的探针(Probe)在沟轨中以原子间的斥力(凡得瓦力)而悬浮一小段距离，探针的微小上下起幅会使翘板背后所反射激光做很大振幅的摆动，因此这微小的高低变化会反应到光侦测数组中做记录，当探针针尖连续走过几道沟槽后累积起来一个立体的影像，这直接测试的数值会比光学测试机用光学绕射测量来的准确，但AFM只能针对小区域做测量，而绕射测试可以在几秒内做完整张沟身沟宽的测量，前者是绝对式后者是相对式，两者间要做比对校正才有意义。 图三十九、AFM图像显示DVD-R在平台(Land)上也有信号坑五、Toyo注塑件机的演进 目前东洋机械全电动式注塑件机最流行的机型是ST50discPRO，现在己添名为S机型，代表“标准机型(Standard)的意思。除了承袭以往的设计在注塑件顶端有净化沉流罩外，注塑件机有附自己的注塑件模具净化罩，喷嘴上也有屏蔽的设计，采取单一化的真空泵与额外的润滑油泵。除了此等贴心的设计之外，最重要的是其有50顿的锁模出力；最坚固的钢体机身；而在动模中还有添加一片张力板，用来更均匀地将锁模力导入注塑件模具中：冲头的控制也是随着一具伺服电机而独力驱动，如此可以达到软切割作业上做到更完美的切口，保持内孔的均一性。 随着高质量市场的发展所需，东洋有发展在ST50discPRO-S的四支拉杆末端上各加上一个伺服电机的注塑件机称为“ST50discPRO－H”，此四具伺服电机加上在注塑件模具内的高精密度四象限式压力侦测器做循环控制，可以精确地单独调校每个拉杆上的力量，使得锁模力更均匀落在盘基的各放射方向上，彻底减少盘基的不平衡问题，非常适合高速(48X以上)可录式光盘CD-R与DVD-R(4X以上)的盘基生产。 另外，Disc BOX直立式注塑件机有占地面积最小、能避免重力造成塑料的密度变异与直立施展锁模力的简易性优点，而循环周期可以加快到2．8s/DVD。 DiscPRO-V注塑件机采用双螺杆双注塑件模具的设计，与其它工注塑件加工所设计的单螺杆双注塑件模具不同，因为单炮筒要负责两个注塑件模具的注射，在“注道衬套”(Sprue Bush)不对称的情况下，会有充填(Filling)不均匀的情况发生，很容易产生光盘的不平衡问题。因此只有双螺杆双注塑件模具才能做到中心对称式的注塑件。